![]() ホールチェック+穴位置(CPK) |
![]() ホールチェック+穴位置(CPK)+二次元測長 |
![]() ホールチェック+穴位置(CPK) |
標準仕様
- ・最大測定サイズ: 650×710㎜(オプションでより大きなサイズも対応します。)
- ・測定板厚(T): 0.05~8㎜
- ・測定穴径(D): >0.075㎜
- ・最大アスペクト比: 20:1(T > 3㎜)
- ・検査可能穴数: 無制限
- ・検査速度: 1.2~4.8 M/min
- ・穴位置検査精度: ±5μm
- ・穴径測定精度: ±15μm(φ >= 0.15㎜)
WINTANKの特徴
- ・高効率、高精度の穴測定。610㎜×460㎜基板で最速15秒の測定時間。
- ・単軸モーターのワンスキャン方式、高精度リニアスケールを採用。
- ・バックラッシュやレンズの揺れの影響を受けず高精度の測定が可能。
- ・基板投入時に細かな位置決めが不要で、誰でも簡単に使用できます。
- ・DQA-720MRは、高精度CCDカメラ及び反射光と透過光の2光源を備え、
- 穴位置、穴径測定に加えて、ルーター後の個片の外形測定並びにパッド、
- ライン幅、ラインスペースなどの二次元測長が可能です。