FEMTOレーザー加工機
(ICテストソケット・最先端プローブカード対応)
仕様 |
・ウルトラショートパルスレーザー光源 |
・光学5軸プレセッションヘッド |
・高精密位置決めX-Yテーブル |
・交換可能クランピング機構 |
・進化した高度なコントロールシステム |
・ポジショニングカメラ |
・高精度オートフォーカスシステム |
・温度制御システム |
・ダスト集塵 |
特徴
- ・安定した穴品質
- ・高い位置決め精度±2μm
- ・圧倒的な高い生産性
- ・オールマイティな加工能力
- (ドリリング、マーキング、カッティング)
- ・広範囲の材料に対応
- (ハードセラミック、ポリマー等)
- ・コールドアブレーション加工(低熱影響)
- ・丸穴、四角穴など他の形状も可能
- ・穴テーパーコントロール
- ・最小径:20μm以下(狭ピッチで)
- ・最小壁厚:10μm以下