FEMTOレーザー加工機
（ICテストソケット・最先端プローブカード対応）
| 仕様 |
| ・ウルトラショートパルスレーザー光源 |
| ・光学５軸プレセッションヘッド |
| ・高精密位置決めX-Yテーブル |
| ・交換可能クランピング機構 |
| ・進化した高度なコントロールシステム |
| ・ポジショニングカメラ |
| ・高精度オートフォーカスシステム |
| ・温度制御システム |
| ・ダスト集塵 |
特徴
- ・安定した穴品質
- ・高い位置決め精度±2μm
- ・圧倒的な高い生産性
- ・オールマイティな加工能力
- （ドリリング、マーキング、カッティング）
- ・広範囲の材料に対応
- （ハードセラミック、ポリマー等）
- ・コールドアブレーション加工（低熱影響）
- ・丸穴、四角穴など他の形状も可能
- ・穴テーパーコントロール
- ・最小径：20μm以下（狭ピッチで）
- ・最小壁厚：10μm以下
