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ガラス用マイクロマシニング加工機

                            

ガラス用マイクロマシニング加工機
 Spark Assisted Chemical Engraving (SACE)


仕様
ツール タングステンカーバイト製
ワークエリア 220㎜×220㎜
ドリリング 150μm < Θ < ∞、 0 < 深さ < ツール長による(5㎜)
垂直穴明から90°までのテーパー加工、 アスペクト比 1:10
ミリング/エングレイビング(彫刻) 送り速度:20㎜/min、 Θ50-100μm
深さ:ツール長による、溝幅公差:5%、アスペクト比 1:10
マイクロカッティング 加工ツール送り速度:10-20㎜/min、 深さ:4-5㎜
表面仕上げ 様々な表面仕上げに対応(粗化仕上げから平滑仕上げまで)
CNC Twin SAFE-PLC 付 TwinCAT 3 CNC Beckhoff を採用し、安全を考慮
オプション オートローダー/アンローダー、洗浄(ウェハ、その他部品用)
使用薬品 苛性ソーダ水溶液
メンテナンス ローメンテナンス、ローコスト
寸法(W×L×H) スピンドルモジュール:1566×1732×2110mm

特徴

  • ・フレキシブルな量産にも対応、試作用小型シリーズ
  • ・モジュラーコンセプト:最大4台まで連結可能
  • ・高位置決め精度と加工安定性
  • ・クリーンルーム対応
  • ・エッチングマスク不要
  • ・従来の切削加工に比べ、極めて低いランニングコスト
  • ・様々な表面仕上げに対応 (粗化仕上げから平滑仕上げまで)
  • ・2.5次元マシニング
  • ・バリ、欠け、マイクロクラック発生無し