回路だけでなく、様々な工法のレーザービアも検査可能な汎用性の高いAOI装置です。
■HDI向けBグレードに、MLB向けCグレードを追加
■ビア径φ20μmまで対応可能なXグレードもご用意
■独自開発のFIT機能搭載したベリファイユニットをオプション設定、ビア底スミア残りの確認が容易に
■業界最速の検査スループット
■様々なプロセスや材料に適合
■分析機能完備
