簡単な操作でCADデータ比較が可能になりました。２０年以上の実績からより扱いやすい装置に仕上がっています。
■ワークサイズ／700mm × 600mm
■検査エリア／600mm x 500mm
■分解能力／6.9umまたは3.45um（選択）
■検査時間／500mm x 400mmで約2分（分解能力6.9umの時の計算値）
※ワークサイズや検査エリアが足りない場合は、新規に装置の設計が可能ですのでお気軽にご連絡ください。
