■UVランプ光源
■LED光源
※どちらも選択可能です
■サイクルタイム：9.5sec（真空待ち時間2sec含む）＋露光時間の高生産性
■位置合わせ精度：±3μm（繰り返し再現性）
■内蔵クリーン機構：マスク、ステージ自動クリーニング機構
